Wie funktioniert eine Laserreinigungsmaschine?

Laseremission:

• Der Laser erzeugt einen hochenergetischen Laserstrahl, typischerweise mit einer Wellenlänge von 1064 nm oder 355 nm.
• Der Laserstrahl wird durch ein Galvanometersystem auf einen kleinen Punkt mit hoher Energiedichte fokussiert.

Laser-Schadstoff-Wechselwirkung:

• Photothermische Wirkung: Wenn der Laserstrahl die Schadstoffoberfläche trifft, wird die Energie absorbiert und der Schadstoff schnell bis zum Verdampfungspunkt erhitzt.
• Photoablationseffekt: Der Laserpuls erzeugt eine vorübergehende thermische Ausdehnung, die die Bindung zwischen dem Kontaminant und dem Substrat unterbricht und zur Ablation führt.

Photochemische Wirkung:

• Die Laserenergie bricht die molekularen Bindungen des Verunreinigungsmittels und erzielt eine chemische Reinigung.

Schockwelleneffekt:

• Der pulsierte Laser erzeugt eine winzige Plasmaexplosion, die eine Schockwelle erzeugt, die den Schadstoff zerstört oder ausstrahlt.

Entfernung von Schadstoffen:

• Schadstoffe werden von der Oberfläche als Gas, Dampf oder Partikel freigegeben, die durch ein Abgassystem teilweise entfernt werden.
• Das Substrat bleibt aufgrund seiner geringen Absorptionsrate intakt.

Steuerung und Scannen:

• Das Galvanometersystem steuert die schnelle Abtastung des Laserstrahls und deckt den Reinigungsbereich entlang eines vorgegebenen Pfades ab. Computersoftware passt Laserleistung, Frequenz, Pulsbreite und Scangeschwindigkeit an.