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レーザークリーニング機械はどのように機能しますか?

によって管理者オン

レーザー放射:


  • レーザーは、通常1064nmまたは355nmの波長で高エネルギーレーザービームを生成します。
  • レーザービームは,電流計システムによって高エネルギー密度の小さな点に焦点付けられます.

レーザー汚染物相互作用:


  • 光熱効果:レーザービームが汚染物の表面に打つと,エネルギーは吸収され,汚染物を急速に蒸発点まで加熱します.
  • Photoablation効果:レーザーパルスは一時的な熱膨張を生成し,汚染物と基板の結合を中断し,ablationにつながります.


光化学効果:

  • レーザーエネルギーは,汚染物の分子結合を破り,化学的クリーニングを達成します.

ショック波効果:

  • パルスレーザーは小さなプラズマ爆発を生み出し、汚染物を粉碎または射出する衝撃波を生成します。

汚染物の除去:

  • 汚染物はガス、蒸気、または粒子として表面から放出され、排気システムによって部分的に除去されます。
  • 基板は吸収率が低いため完璧に保持されます。

制御およびスキャン:

  • ガルバノメーターシステムは,レーザービームの迅速なスキャンを制御し,事前に設定された経路沿いでクリーニング領域をカバーします.コンピュータソフトウェアは,レーザーパワー,周波数,パルス幅,スキャン速度を調整します.



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