連続的なクリーニング機械
特定のプロセスには、いくつかの反応が含まれています。
蒸発:レーザービームは汚染物を蒸発温度に加熱し、固体または液体状態から直接ガス状態に変換します。
吸収:レーザーエネルギーは汚染物と基板の間の結合を弱め、表面から汚染物を取り除くことができます。
分解:レーザーエネルギーは汚染物の化学的分解を引き起こし、無害物質に変換します。
基板は通常レーザーエネルギーをほとんど吸収しないため、その表面は完璧に残ります。このクリーニング方法は非常に効率的で,環境に優しく,基板を損傷させません.