Лазерное излучение:
- Лазер генерирует высокоэнергетический лазерный луч, обычно с длиной волны 1064 нм или 355 нм.
- Лазерный луч фокусируется в небольшом месте с высокой плотностью энергии системой галванометра.
Взаимодействие лазерного загрязнителя:
- Фототермальный эффект: когда лазерный луч поражает поверхность загрязнителя, энергия поглощается, быстро нагревая загрязнитель до точки испарения.
- Эффект фотоабляции: лазерный импульс генерирует временное тепловое расширение, нарушая связь между загрязнителем и субстратом, приводя к абляции.
Фотохимический эффект:
- Лазерная энергия разрушает молекулярные связи загрязнителя, обеспечивая химическую очистку.
Эффект ударной волны:
- Импульсный лазер создает крошечный плазменный взрыв, генерируя ударную волну, которая разрушает или выбрасывает загрязнитель.
Удаление загрязнителей:
- Загрязнители высвобождаются с поверхности в виде газа, пара или частиц, частично удаляемых выхлопной системой.
- Подложка остается нетронутой из-за ее низкой скорости поглощения.
Контроль и сканирование:
- Система галванометра управляет быстрым сканированием лазерного луча, покрывая зону очистки вдоль заранее установленного пути. Компьютерное программное обеспечение регулирует мощность лазера, частоту, ширину импульса и скорость сканирования.